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学問のすゝめ

知ることへのあこがれ

真壁利明 (電子工学科教授)

Fig. VicAddress(予測CAD)によるプラズマエッチング


Fig. VicAddress(予測CAD)によるプラズマエッチング

Fig. VicAddress(予測CAD)によるプラズマエッチング

 私たちは未知のものに遭遇しこれを知りたいと思う。これが研究への第一歩で、若者を研究へと駆り立てる動機です。

 先のミレニアムを挟んだ時期、ユビキタス時代の到来に向け科学技術が急速に発展するとともに、考古学上の発見も続き、科学技術史が過去へと遡った時期でもありました。3000年前には縄文人と弥生人が接触しながら日本文化の芽を育てたことが明らかとなり、ヨーロッパ南アルプスで突然私たちの前に出現した 5000年前のアイスマンは驚くほど丹精な服装をまとい、ロマンに満ちた空想を駆り立たせてくれました。人類の日々の営みから生まれ育った科学技術は、行きつ戻りつしながら長い年月をかけて、その歩みを止めることなく発展し続け現在に至っています。

 20世紀の最後の四半世紀、Si-LSIが飛躍的に発展し、私たちはシリコンの時代を謳歌し、その欲求はユビキタス時代を求めて果てしなく広がり続けています。シリコンチップの上に築かれつつあるこの夢の時代、この科学技術の立役者の一人は、物質第四の相と呼ばれるプラズマをツールにSiにナノメータの超微細な加工をほどこすプラズマプロセス技術です。私は原料となる原子・分子の量子特性をもとにユニークなプラズマをデザインしトップダウンナノ加工を見積もる、慶應発の予測CAD, VicAddressを開発しながら未踏の領域へ一歩ずつその歩みを進めています(Plasma Electronics: Applications in Microelectronic Device Fabrication(Taylor & Francis) , http://www.mkbe.elec.keio.ac.jp)。

 私は未知の課題に接したとき、過去の定説にとらわれることなく自分のスキル(知識体系)をもとに考えることの大切さと楽しさを学生の皆さんと共に日々共有しながら、20名を超える博士を輩出してきました。

Fig. VicAddress(予測CAD)によるプラズマエッチングの動画像

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